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在加熱製程中一般使用到的工具. • 常被稱為擴散爐(diffusion furnace). ( ff f. ) • 石英管裡內藏陶製襯裡叫muffle. 多爐管系統. • 多爐管系統.
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答：利用IPA(異丙醇)和水共溶原理將晶圓表面的水份去除 ... 其中DIFF又包括FURNACE(爐管)、WET(濕刻)、IMP(離子注入)、RTP(快速熱處理)。
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濺鍍是利用濺射現象(Sputtering)，所謂的濺射現象是指固. 體表面受到帶有高能量粒子的衝擊，基於動量轉移的原理，固體表面的. 原子、分子等從帶有高能量 ...