rf plasma原理、電漿鞘層、電漿原理在PTT/mobile01評價與討論，在ptt社群跟網路上大家這樣說
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圖2-3 說明了濺鍍原理，鍍膜靶材(target)接陰極，基材(substrate)接陽 ... current plasma)、高週波電漿(radio frequency plasma；激發頻率為13.56.